![arf immersion](https://host.easylife.tw/files/Immersive%20Explorer.gif)
Immersionlithographyisatechniqueusedinsemiconductormanufacturingtoenhancetheresolutionandaccuracyofthelithographicprocess.,2019年6月10日—12吋晶圓主要光刻機為ArFimmersion機台,可涵蓋45nm一路往下到7nm節點的使用範圍,雷射光波長最小微縮到193nm;針對7...
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Leadingthepack;Cuttingedgelithography;LowLWR;Lowdefectivity;LowMEEF(maskerrorenhancementfactor).JSRArFImmersionPhotoresistwithDualHM.
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